2024年8月21日
スパッタ成膜
薄膜の種物質(ターゲットという)にアルゴンイオンをぶつけて、その際にたたき出された種物質を基板に堆積することによって薄膜を作製します。
【試験対象】
電子材料
使用機器
料金
| NO. | 項目 | 単位 | 料金 |
|---|---|---|---|
| E1158 | スパッタ成膜 | 標準１試料当たり | 48,950円 |