2024年8月21日

アッシャーによるプラズマ処理

電子技術部
海老名
  • 微細加工
  • 電子材料
  • 電気・電子製品
  • #薄膜作成・成膜

表面改質、有機物除去

【試験対象】
　CF4プラズマ処理、酸素プラズマ処理

例）レジスト残渣の除去　等

使用機器

アッシャー装置

料金

NO. 項目 単位 料金
E1180 アッシャーによるプラズマ処理 １条件１時間につき　 18,040円

担当部署

電子技術部　電子デバイスグループ