プラズマを用いるドライエッチング法の一つであり、この場合は、ECR (電子サイクロトロン共鳴)　によりプラズマを発生させます。

【試験対象】
　電子材料

例）GaAsのエッチング等

使用機器

料金

NO.	項目	単位	料金
E1190	ＥＣＲプラズマエッチング	標準１試料当たり	49,720円

担当部署

電子技術部　電子デバイスグループ