2024年8月21日
高精度フォトリソグラフィ
UV露光による感光性樹脂への高精度転写 両面パターンにも対応可
【試験対象】
ウエハサイズ：2cm角から6インチφまで対応 マスクサイズ：4、5、7インチ角に対応 バキューム/ハード/ソフトコンタクト、プロキシミティ露光に対応(サンプルによる制限あり)
１μｍ以下の微細パターンの形成が高い重ね合わせ精度により加工が可能です。
応用例：LED用基板、MEMSデバイス、マイクロ金型、マイクロ流体デバイス（μ-TAS）、レジストの高アスペクト比加工、薄膜パターニングなど
使用機器
料金
| NO. | 項目 | 単位 | 料金 |
|---|---|---|---|
| E1191 | 高精度フォトリソグラフィ | １枚につき | 28,600円 |
| E1192 | 高精度フォトリソグラフィ １枚増 | １枚増すごとに | 10,340円 |