真空雰囲気中で金属を加熱蒸発させて基板にその金属の薄膜を堆積させます。

【試験対象】
　電子材料

使用機器

料金

NO.	項目	単位	料金
E151301-01	真空蒸着	標準１試料当たり	37,070円
E151301-02	真空蒸着　１条件増	１条件増すごとに	17,270円

担当部署

電子技術部　電子システムグループ