2024年8月21日 アッシャーによるプラズマ処理 電子技術部 海老名 微細加工 電子材料 電気・電子製品 #薄膜作成・成膜 表面改質、有機物除去 【試験対象】 CF4プラズマ処理、酸素プラズマ処理例)レジスト残渣の除去 等 使用機器 アッシャー装置 料金 NO. 項目 単位 料金 E151307-01 アッシャーによるプラズマ処理 1条件1時間につき 18,040円 担当部署 電子技術部 電子デバイスグループ