走査型プローブ顕微鏡観察
原子ステップサファイア及び電子線レジストパターン
走査プローブ顕微鏡(SPM)は先端サイズがナノスケール程度のプローブを試料表面に接近させ、プローブ先端と試料間との相互作用を制御することにより形状、その他の特性を計測します。
【試験対象】
電子材料
使用機器
料金
NO. |
項目 |
単位 |
料金 |
E1780 |
走査型プローブ顕微鏡観察 |
標準1条件1測定につき |
23,320円 |
E1781 |
走査型プローブ顕微鏡観察 1視野追加 |
1視野追加につき |
10,780円 |
担当部署
電子技術部 電子材料グループ