固体表面にX線を照射して光電効果により放出される光電子の運動エネルギー（EK）と強度を測定する手法である。測定したEKから、各軌道における電子の結合エネルギー（EB）を算出することにより、元素分析が可能である。また、注目原子に結合する原子の種類や結合状態によって、EBはわずかに変化する。この変化を測定することにより化学状態分析もできる。なお、XPSの測定深さは数nm程度である。

表面分析、表面局所分析

使用機器

料金

NO.	項目	単位	料金
E1882	Ｘ線光電子分光分析（XPS）　（簡単なもの)	１試料１ヶ所につき	18,150円
E1884	Ｘ線光電子分光分析（XPS）　（簡単なもの)　条件増	１条件増すごとに	8,250円

担当部署

機械・材料技術部　解析評価グループ