固体表面にX線を照射して光電効果により放出される光電子の運動エネルギー（EK）と強度を測定する手法である。測定したEKから、各軌道における電子の結合エネルギー（EB）を算出することにより、元素分析が可能である。また、注目原子に結合する原子の種類や結合状態によって、EBはわずかに変化する。この変化を測定することにより化学状態分析もできる。なお、XPSの測定深さは数nm程度である。

使用機器

料金

NO.	項目	単位	料金
E1980	Ｘ線光電子分光分析（走査型・XPS・ワイドスキャンのみ）	１試料１ヶ所につき	15,840円
E1982	Ｘ線光電子分光分析 （走査型・XPS・ワイドおよびナロースキャン）	１試料１ヶ所につき（6元素まで）	23,540円
E1984	Ｘ線光電子分光分析（走査型・XPS・面分析，線分析）	１試料１ヶ所につき（5元素まで）	24,640円
E1986	Ｘ線光電子分光分析（走査型・XPS・深さ方向分析）	１試料１ヶ所につき（6元素まで）	37,180円
E1990	Ｘ線光電子分光分析（走査型・XPS）　条件増	１条件増すごとに	5,720円
E1992	Ｘ線光電子分光分析（走査型・XPS）　元素増（１）	１元素増すごとに（E１982, E１984に適用）	4,950円
E1994	Ｘ線光電子分光分析（走査型・XPS）　元素増（２）	１元素増すごとに（E１986に適用）	7,370円

担当部署

機械・材料技術部　解析評価グループ