分析箇所の特定のため、レーザーマーカーを用いマーキングを行います。
レーザーマーカーは試料表面をCCDカメラで拡大観察しながら、細く絞ったレーザー光を照射し、任意の場所へ簡単にマーキングできる装置です。集束イオンビーム装置（FIB）や走査電子顕微鏡（SEM）の電子像では確認が困難であった変色部位などの特定に、そのマーキング機能は威力を発揮します。

微細加工時の位置確認用マーキングや、多層薄膜基板の表面薄膜除去などにも活用できます。

特徴

• 532nmと355nmの2種類のレーザーを切り替えて使用できるため、金属材料、絶縁材料、TFT、などの多種類のサンプルに対応可能。
• 対物レンズの倍率を変えることで、異なったサイズ（1μm角～150μm角）のマーキングが行うことができます。

仕様

• レーザー波長：532nmと355nmの2種類（切替式）
• 照射ビーム寸法：1μm角～150μm角
• 対物レンズ：10×（観察用）、20×、50×、100×

使用機器

料金

NO.	項目	単位	料金
K1630	レーザーマーキング	15分以内	2,860円
K1635	レーザーマーキング　　追加	追加15分当たり	1,870円

担当部署

川崎技術支援部　微細構造解析グループ