高精度加工・極低加速電圧加工が可能な集束イオンビーム(FIB)に、超高解像度のフィールドエミッション走査電子顕微鏡(FE-SEM)を搭載した小片試料～200mmφウェーハまでに対応したトリプルビーム装置です。

特徴

• XVision200TBにはFIB-SEM-Arの3つのビームが試料の同一位置に交差するトリプルビームシステムを採用。（上図）
• 断面加工観察・TEM試料作成およびアルゴン低加速ミリング仕上げ・EDS分析が1台で可能。
• FIB加工を中断することなく加工中の断面SEM像をリアルタイムで観察できるため、微細な加工終点を逃さずに加工可能。
• チャンバーSE検出器、InLensSE検出器、EsB反射電子検出器・EDSなど、微細化の進むデバイス解析に必須なイメージング /分析ツールを搭載。
• 最大200mmφウェーハ面内の複数箇所からのTEM試料作成機能によ り、プロセス評価・故障解析に威力を発揮。

仕様

• SEM分解能：3.0nm（5kV）
• 検出器：二次電子検出器、反射電子検出器
• 推奨試料サイズ：最大200mm径
• FIB分解能：4nm（30kV時）
• EDS：NORAN System7（サーモフィッシャーサイエンティフィック製）
• 分析モード：点分析, 線分析, 面分析
• 分析対象元素：B～U
• その他：アルゴンイオンガン搭載

FIB-SEMによる　微小試験片の作製

ナノインデンター用の片持ち試験片(マイクロカンチレバー)をFIBで作製します。

※マイクロカンチレバー法
　幅と高さが数µm程度の五角形の断面形状を有する片持ち試験片(マイクロカンチレバー)をFIBで作製し、試験片の端にナノインデンターで荷重を印加して 破壊試験を実施します。破壊荷重と試験片の寸法から強度や破壊靭性などの機械的特性を測定する手法です。
　最大の特徴は試験片が非常に小さいため、バルク体中の粒子や粒界、表面処理層、腐食部 といった 局所領域の機械的特性を測定できる点です。

マニピュレーターによるサンプリング

使用機器

料金

サンプルの加工量（体積）や材質による長時間加工等により費用は変わりますので、詳細は担当職員にお問い合わせください。
ご要望に応じて見積書を作成いたします。

K1730、K1732、K1735：微小試験片の作製のみ、ナノインデンターの費用は別途発生します。
K1610：FIBの料金は含まれません。

NO.	項目	単位	料金
K1640	集束イオンビーム装置（FIB-SEM/EDS）[XVision 200TB]	１時間以内	33,880円
K1641	集束イオンビーム装置（FIB-SEM/EDS）[XVision 200TB]　追加	追加１時間当たり	28,820円
K1650	FIBオプション　カーボン膜デポジション	10分当たり	2,420円
K1670	FIBオプション　アルゴンイオンミリング	30分当たり	11,330円
K1680	FIB付属のSEM観察	１試料１視野観察につき	20,680円
K1681	FIB付属のSEM観察　　視野追加	同一試料において１視野追加観察につき	4,620円
K1682	FIB付属のSEM観察　　条件追加	同一試料において１条件追加につき	4,620円
K1690	FIB付属のSEMオプション　　 EDS分析測定　点分析	点分析１視野１箇所につき	17,050円
K1691	FIB付属のSEMオプション　　 EDS分析測定　点分析追加	点分析同一視野内で１箇所追加につき	5,830円
K1694	FIB付属のSEMオプション　　 EDS分析測定　線分析	線分析１視野１箇所につき	22,880円
K1695	FIB付属のSEMオプション　　 EDS分析測定　線分析追加	線分析同一視野内で１箇所追加につき	8,910円
K1692	FIB付属のSEMオプション　　 EDS分析測定　面分析	面分析１視野につき	34,650円
K1696	FIB付属のSEMオプション　　 　　 EDS分析測定　各種データ処理	各種データ処理１条件につき	5,830円
K1672	FIB-SEMによる　三次元再構築用連続断面画像の取得	１測定につき	113,740円
K1674	FIB-SEMによる　三次元再構築用連続断面画像の取得　　 条件追加	１条件追加につき	12,100円
K1730	FIB-SEMによる　微小試験片の作製　標準	標準的な作製　（SEM観察含む）　５本につき	182,160円
K1732	FIB-SEMによる　微小試験片の作製　複雑	複雑な作製　（SEM観察含む）　５本につき	273,130円
K1735	FIB-SEMによる　微小試験片の作製　条件追加	１条件追加につき	11,550円
K1610	マニピュレーターによるサンプリング	１試料につき	5,830円

担当部署

川崎技術支援部　微細構造解析グループ