X線透過観察をおこなうことにより、部品等の内部を非破壊で観察することができます。
物質によるX線の透過率の差を利用して部品や材料内部を観察する装置で、空港の手荷物検査や医療用レントゲンと同じ原理です。
マイクロフォーカスX線検査装置はその名前の通り最小焦点寸法が1μmと非常に小さいため、通常のX線透過観察装置より高倍率で非破壊観察することが可能で、主として電子部品の解析に使用されます。

最大試料寸法　　：300mm×250mm
管電圧　　　　　：40～140kV
焦点寸法　　　　：1μm以下
ステージ可動範囲：X方向 300mm, Y方向 250mm, Z方向 250mm
導入年　　　　　：平成11年

使用機器

料金

NO.	項目	単位	料金
K1720	マイクロフォーカスＸ線検査装置	30分以内	7,040円
K1725	マイクロフォーカスＸ線検査装置　追加	追加15分当たり	3,080円

担当部署

川崎技術支援部　太陽電池評価グループ