透過電子顕微鏡（TEM）サンプルのダメージ層除去ならびに薄片化の専用装置です。TEMサンプルがダメージ層に覆われて観察しにくい、厚いため電子線が透過しにくいときなどに、アルゴンイオンビームを照射することで、より良いTEMサンプルを作製することができます。

【用途・特徴】
極低加速エネルギー(100eV～2keV)のアルゴンスパッタリングによって、イオンミリング装置やFIBで作成したTEMやSEM試料の最表面ダメージ層の除去

使用機器

料金

※低エネルギーイオンミリング（ジェントルミル）のみのご利用を希望された場合にも、サンプルの状態確認のためのTEM観察（10万倍以下）料金が加算されます。

NO.	項目	単位	料金
K4180	低エネルギーイオンミリング（ジェントルミル）	１試料１条件につき	14,850円

担当部署

川崎技術支援部　微細構造解析グループ