イオンミリング法 (小さい試料用)

川﨑技術支援部
溝の口
  • 試料調製・前処理
  • (材料共通)
  • #微細加工

イオンミリング法は、イオンミリング装置を用いて、サンプルをアルゴンイオンビームで、イオン研磨することにより加工歪の少ないサンプルを作製できます。

イオンミリング装置 加工概要
イオンミリング装置 加工概要

断面イオンミリング法

イオンミリング装置の液体窒素冷却機能を使用することで、ハンダや樹脂といった熱による変形等を伴うサンプルの断面作製も可能です。

平面イオンミリング法

特殊ホルダーを使用することで、EBSDなどの平面イオンミリングとしても使用することができます。

  • 機種名:Ilion+(Gatan社)
  • 加速電圧:1kV~6kV
  • 冷却温度:液体窒素冷却、温度調節機構あり
  • 試料サイズ:担当職員にお問い合わせください。

使用機器

イオンミリング装置 [Ilion+]

料金

NO. 項目 単位 料金
K4230 断面イオンミリング法 (小さい試料用) 
A:容易な試料
1試料につき 24,090円
K4232 断面イオンミリング法 (小さい試料用) 
B:標準的な試料
1試料につき 47,300円
K4234 断面イオンミリング法 (小さい試料用) 
C:複雑な試料
1試料につき 72,490円
K4236 断面イオンミリング法 (小さい試料用) 
D:非常に複雑な試料
1試料につき 92,620円
K4237 断面イオンミリング法 (小さい試料用) 
条件追加
1条件追加につき 5,830円
K4238 断面イオンミリング法 (小さい試料用) 
クライオ
クライオの使用 1試料につき 5,830円
K4240 平面イオンミリング法 (小さい試料用) 
A:容易な試料
1試料につき 11,440円
K4242 平面イオンミリング法 (小さい試料用)  
B:標準的な試料
1試料につき 23,870円
K4244 平面イオンミリング法 (小さい試料用) 
C:複雑な試料
1試料につき 34,320円
K4246 平面イオンミリング法 (小さい試料用) 
D:非常に複雑な試料
1試料につき 44,770円
K4247 平面イオンミリング法 (小さい試料用) 
条件追加
1条件追加につき 5,830円
K4248 平面イオンミリング法 (小さい試料用) 
クライオ
クライオの使用 1試料につき 5,830円

担当部署

川崎技術支援部 微細構造解析グループ