イオンミリング法 (大きい試料用)

川﨑技術支援部
溝の口
  • 試料調製・前処理
  • (材料共通)
  • #微細加工

イオンミリング法は、イオンミリング装置を用いて、サンプルをアルゴンイオンビームで、イオン研磨することにより加工歪の少ないサンプルを作製できます。

イオンミリング装置 加工概要
イオンミリング装置 加工概要

断面イオンミリング法

イオンミリング装置の液体窒素冷却機能を使用することで、ハンダや樹脂といった熱による変形等を伴うサンプルの断面作製も可能です。

平面イオンミリング法

特殊ホルダーを使用することで、EBSDなどの平面イオンミリングとしても使用することができます。

イオンビームスパッタ

イオンミリング装置のオプション機能(特殊ホルダー他)を使用し、SEM等のサンプルに極薄のカーボン膜等を成膜(導電性処理)することができます。

  • 機種名:クロスセクションポリッシャー(IB-19520CCP)日本電子株式会社製
  • 加速電圧:1kV~8kV
  • 冷却温度:液体窒素冷却、温度調節機構あり
  • 試料サイズ:担当職員にお問い合わせください。

使用機器

イオンミリング装置 [IB-19520CCP]

料金

NO. 項目 単位 料金
K4250 断面イオンミリング法 (大きい試料用) 
A:容易な試料
1試料につき 23,100円
K4252 断面イオンミリング法 (大きい試料用) 
B:標準的な試料
1試料につき 45,980円
K4254 断面イオンミリング法 (大きい試料用) 
C:複雑な試料
1試料につき 68,860円
K4256 断面イオンミリング法 (大きい試料用)  
D:非常に複雑な試料
1試料につき 91,960円
K4257 断面イオンミリング法 (大きい試料用) 
条件追加
1条件追加につき 5,720円
K4258 断面イオンミリング法 (大きい試料用) 
クライオ
クライオの使用 1試料につき 5,830円
K4260 平面イオンミリング法 (大きい試料用) 
A:容易な試料
1試料につき 11,220円
K4262 平面イオンミリング法 (大きい試料用) 
B:標準的な試料
1試料につき 21,340円
K4264 平面イオンミリング法 (大きい試料用) 
C:複雑な試料
1試料につき 31,350円
K4266 平面イオンミリング法 (大きい試料用)  
D:非常に複雑な試料
1試料につき 41,800円
K4267 平面イオンミリング法 (大きい試料用) 
条件追加
1条件追加につき 5,390円
K4270 イオンビームスパッタ 1試料につき 5,940円

担当部署

川崎技術支援部 微細構造解析グループ