X線光電子分光分析(走査型・XPS)表面分析(ワイドスキャンのみ)

川﨑技術支援部
溝の口
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極表面に、どのような元素が存在するか分析することができます。
試料表面の極薄い層(数nm)の元素分析(水素、ヘリウム以外)、半定量分析(検出限界~0.1at%程度)を行います。
金属や半導体、酸化物、セラミックス、有機物などの絶縁物試料等、超高真空試料室内に導入可能なあらゆる固体が対象です。

アルバック・ファイ社製 Quantera SXM
・ビーム径9µm~200μmでの微小部分析
・試料サイズW70×D70×H18mm 以下

用途・応用例
・目視、顕微鏡では確認できない表面の汚染、吸着、付着物分析
・表面改質評価
・金属薄膜の組成、化学結合状態の評価
・物質表面のしみ、変色分析
・電子材料の故障解析
・光触媒の劣化解析

使用機器

X線光電子分光分析装置(走査型・XPS)[Quantera SXM]

料金

NO. 項目 単位 料金
K5002 X線光電子分光分析(走査型・XPS・表面分析・ワイドスキャンのみ) 1試料1ヶ所につき(ワイドスキャンのみ) 27,610円
K5005 X線光電子分光分析
(走査型・XPS・表面分析・ワイドスキャンのみ) 追加試料
追加1試料1ヶ所につき(ワイドスキャンのみ) 21,780円
K5007 X線光電子分光分析
(走査型・XPS・表面分析・ワイドスキャンのみ) 条件増
1条件増すごとに(ワイドスキャンのみ) 5,610円

担当部署

川崎技術支援部 材料解析グループ