極表面に、どのような元素が存在するか分析することができます。
試料表面の極薄い層（数nm）の元素分析（水素、ヘリウム以外）、半定量分析（検出限界～0.1at%程度）を行います。
薄膜、多層膜試料等について、極表面分析の後にアルゴンイオンスパッタを行い露出した面を極表面として分析することを繰り返し、深さ方向の元素分布分析を行うことも可能です（通常は深さ0.2μmまで）。ご要望条件その他につきましては担当者と詳細ご相談お願い申し上げます。
金属や半導体、酸化物、セラミックスなどの絶縁物試料等、超高真空試料室内に導入可能なあらゆる固体が対象です。

アルバック・ファイ社製　Quantera SXM
・ビーム径9µm～200μmでの微小部分析
・試料サイズW70×D70×H18mm 以下

使用機器

料金

NO.	項目	単位	料金
K5010	Ｘ線光電子分光分析（走査型・XPS・深さ方向分析）	１試料１条件につき （主成分のみ、深さ0.2μmまで）	82,940円
K5015	Ｘ線光電子分光分析（走査型・XPS・深さ方向分析）　条件増	１条件増すごとに	11,330円

担当部署

川崎技術支援部　材料解析グループ