極表面に、どのような元素が存在するか分析することができます。
試料表面の極薄い層（数nm）の元素分析（水素、ヘリウム以外）、半定量分析（検出限界～0.1at%程度）および化学結合状態分析を行います。
金属や半導体、酸化物、セラミックス、有機物などの絶縁物試料等、超高真空試料室内に導入可能なあらゆる固体が対象です。

アルバック・ファイ社製　Quantera SXM
・ビーム径9µm～200μmでの微小部分析
・試料サイズW70×D70×H18mm 以下

用途・応用例
・目視、顕微鏡では確認できない表面の汚染、吸着、付着物分析
・表面改質評価
・金属薄膜の組成、化学結合状態の評価
・物質表面のしみ、変色分析
・電子材料の故障解析
・光触媒の劣化解析

使用機器

料金

NO.	項目	単位	料金
K5011	Ｘ線光電子分光分析 （走査型・XPS・表面分析・ワイドおよびナロースキャン）	１試料１条件につき （ワイドおよびナロースキャン）	49,060円
K5012	Ｘ線光電子分光分析 （走査型・XPS・表面分析・ワイドおよびナロースキャン）　 条件増	１条件増すごとに（面分析、状態分析加算等）	11,330円

担当部署

川崎技術支援部　材料解析グループ