微細加工
概要
高精度フォトリソグラフィや電子線描画装置を用いて、1μm以下の微細パターンを高精度で形成できます。また、真空蒸着やスパッタ成膜などの成膜技術も提供しています。これらの技術を組み合わせることで、MEMS、マイクロ流体デバイスなど、様々な微細構造デバイスの製作が可能です。
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高精度フォトリソグラフィや電子線描画装置を用いて、1μm以下の微細パターンを高精度で形成できます。また、真空蒸着やスパッタ成膜などの成膜技術も提供しています。これらの技術を組み合わせることで、MEMS、マイクロ流体デバイスなど、様々な微細構造デバイスの製作が可能です。