固体・表面分析

機械・材料技術部
化学技術部
川﨑技術支援部
海老名
溝の口
蛍光Ｘ線分析装置と分析画像
蛍光Ｘ線分析装置
X線光電子分光分析（XPS）
X線光電子分光分析（XPS）
X線光電子分光分析（走査型・XPS）
X線光電子分光分析（走査型・XPS）
EPMA
EPMA

概要

電子線やX線を物質に照射し、物質表面から放出される電子や特性X線と呼ばれる物質固有のX線を用いて、物質表面の成分や結合状態を評価します。測定手法により分解能等が異なるため、物質に合わせて測定方法を選ぶ必要があります。