X線構造解析
X線回折試験試料
X線回折装置による表面構造解析
概要
試料にＸ線を照射し、Ｘ線が原子の内殻電子によって散乱・干渉した回折X線を測定します。この回折パターンは物質に固有で、物質の同定に使用します。また、薄膜の配向性や結晶構造、多層膜の膜密度・膜厚等の解析も可能です。
