2023年5月16日

XPSによるAuめっき上の極薄いシミの分析事例

川﨑技術支援部

溝の口

XPSワイドスキャン分析により、極表面の薄いシミに、どのような元素が存在するかわかります。

　・極薄いシミの分析ができます

　・Ｘ線光電子分光分析装置（ＸＰＳ）
　・アルバック・ファイ社　　Quantera SXM

　・金（Au）メッキ表面の極薄いシミの分析
　・XPSワイドスキャンによる元素分析および簡易定量

正常部分とシミ部分との比較分析を行うことで、シミ部分の成分がわかります。
シミ部分ではシリコンが検出されました。

試料表面にX線を照射するとX線に励起された原子から電子（光電子）が放出される。
　照射するX線のエネルギーが一定なので、光電子の運動エネルギーを測定すれば電子の結合エネルギーが求められる。
Ekin ＝hv－Eb－Φ

内殻電子の結合エネルギーは原子によって固有の値を有するので、結合エネルギーを測定することによって元素の同定を行うことができる。
　また、原子の化学結合状態が異なると結合エネルギーの値は微妙に変化する。変化した値を測定することによって、元素の化学結合状態分析を行うことができる。

　光電子の運動エネルギーは小さく、深いところで発生した光電子は内部で吸収され外へ脱出することができないため、浅いところで発生した光電子のみが検出されることとなる。そこで、表面から数nmの深さまでのみの分析を行うことができる。

使用機器

今回のようなXPSワイドスキャン測定を実施した場合は、下記料金表が適用されます。詳細はお問い合わせください。
NO.	項目	単位	料金
K5002	Ｘ線光電子分光分析（走査型・XPS・表面分析・ワイドスキャンのみ）	１試料１ヶ所につき（ワイドスキャンのみ）	27,610
K5005	Ｘ線光電子分光分析（走査型・XPS・表面分析・ワイドスキャンのみ）追加試料	追加１試料１ヶ所につき（ワイドスキャンのみ）	21,780

依頼試験（KISTEC事業名：試験計測）で利用できます。