XPSによるAuめっき上の極薄いシミの分析事例

川﨑技術支援部
溝の口
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XPSワイドスキャン分析により、極表面の薄いシミに、どのような元素が存在するかわかります。

観察例

 ・極薄いシミの分析ができます

使用機器

 ・X線光電子分光分析装置(XPS)
 ・アルバック・ファイ社  Quantera SXM

分析例

 ・金(Au)メッキ表面の極薄いシミの分析
 ・XPSワイドスキャンによる元素分析および簡易定量

金(Au)メッキ表面の極薄いシミの分析
金(Au)メッキ表面の極薄いシミの分析

正常部分とシミ部分との比較分析を行うことで、シミ部分の成分がわかります。
シミ部分ではシリコンが検出されました。

XPSワイドスキャンによる元素分析および簡易定量
XPSワイドスキャンによる元素分析および簡易定量

原理

光電子の発生原理
光電子の発生原理

試料表面にX線を照射するとX線に励起された原子から電子(光電子)が放出される。
 照射するX線のエネルギーが一定なので、光電子の運動エネルギーを測定すれば電子の結合エネルギーが求められる。
Ekin =hv-Eb-Φ

Ekin放出された光電子の運動エネルギー
hv入射したX線のエネルギー
Eb放出された光電子の試料中での結合エネルギー
Φ測定装置の仕事関数
X線光電子分光分析の分析領域
X線光電子分光分析の分析領域

内殻電子の結合エネルギーは原子によって固有の値を有するので、結合エネルギーを測定することによって元素の同定を行うことができる。
 また、原子の化学結合状態が異なると結合エネルギーの値は微妙に変化する。変化した値を測定することによって、元素の化学結合状態分析を行うことができる。

 光電子の運動エネルギーは小さく、深いところで発生した光電子は内部で吸収され外へ脱出することができないため、浅いところで発生した光電子のみが検出されることとなる。そこで、表面から数nmの深さまでのみの分析を行うことができる。


ご利用を希望される方へ

このページのご紹介内容は、依頼試験でご利用いただけます。

今回のようなXPSワイドスキャン測定を実施した場合は、下記料金表が適用されます。詳細はお問い合わせください。

使用機器

X線光電子分光分析装置(走査型・XPS)[Quantera SXM]

料金

NO. 項目 単位 料金
K5002 X線光電子分光分析(走査型・XPS・表面分析・ワイドスキャンのみ) 1試料1ヶ所につき(ワイドスキャンのみ) 27,610
K5005 X線光電子分光分析
(走査型・XPS・表面分析・ワイドスキャンのみ) 追加試料
追加1試料1ヶ所につき(ワイドスキャンのみ) 21,780