2023年5月18日

透明導電膜のTEM観察事例

川﨑技術支援部

溝の口

単結晶基板上に作製した透明導電膜の結晶性や析出物の有無などを断面方向から観察し、薄膜の構造を明らかにしました。
通常のTEM観察より薄片化しなければ、高分解能観察ができないことから、低エネルギーイオンミリングを使用。

分析透過電子顕微鏡（FE-TEM/EDS）
集束イオンビーム装置（FIB）
低エネルギーイオンミリング装置（Gentle Mill）

FIB-マイクロプロービング法による試料作製　　→　　低エネルギーイオンミリング　　→　　TEM観察

担当職員にお問い合わせください。

このページのご紹介内容は、依頼試験でご利用いただけます。

観察条件および撮影枚数により費用は変わりますので、詳細は担当職員にお問い合わせください。
ご要望に応じて見積書を作成いたします。

使用機器

NO.	項目	単位	料金
K1450	分析透過電子顕微鏡観察（FE-TEM/EDS）[EM002BF]　 50万倍を超えて200万倍以下	倍率　 50万倍を超えて200万倍以下　１視野につき	35,530
K1625	TEM試料調製　　FIB-マイクロプロービング法　低加速ガリウムイオン	低加速ガリウムイオン仕上げ　１試料につき	122,100
K1425	TEM試料調製　　低エネルギーイオンミリング　（ジェントルミル）	１試料１条件につき	14,850
K1451	分析透過電子顕微鏡観察（FE-TEM/EDS）[EM002BF]　 200万倍を超えるもの	倍率　200万倍を超えるもの　１視野につき	51,590

依頼試験（KISTEC事業名：試験計測）、委託受託（KISTEC事業名：技術開発受託）で利用できます。