2023年5月16日

LSIコンタクトホールの２方向観察事例

川崎技術支援部
溝の口
  • 微細構造観察
  • 金属材料
  • #電子顕微鏡
  • #形状観察
  • #微細加工

LSIに異常が確認され、断面観察よりコンタクトホール直下約50nmの箇所に微小欠陥を捉えることができました。
また、同箇所の平面観察を行い、微小欠陥を定量化しました。

＜使用機器＞　分析透過電子顕微鏡（FE-TEM/EDS）
　　　　　　　集束イオンビーム装置（FIB）
　　　　　　　低エネルギーイオンミリング装置（Gentle Mill）

＜測定手順＞

・FIB-マイクロプロービング法による断面試料作製
　　　　　　　↓
・低エネルギーイオンミリングによる薄片化
　　　　　　　↓
・TEMによる断面観察（微小欠陥の位置を確認）
　　　　　　　↓
・FIBによる平面試料作製
　　　　　　　↓
・低エネルギーイオンミリングによる薄片化
　　　　　　　↓
・ TEMによる平面観察（確認）
　　　　　　　↓
・低エネルギーイオンミリングによる微小欠陥の抽出（複数回）
　　　　　　　↓
・ TEMによる平面観察

＜納　　期＞　担当職員にお問い合わせください。

測定例

断面TEM観察
断面TEM観察
平面TEM観察
平面TEM観察

使用機器

分析透過電子顕微鏡（FE-TEM/EDS）[EM002BF]
分析透過電子顕微鏡（FE-TEM/STEM/EDS）[Talos F200X]
イオンミリング装置（低エネルギー型）[Gentle Mill IV5]

料金

NO. 項目 単位 料金
K120413-01 分析透過電子顕微鏡観察（FE-TEM/EDS）[EM002BF]　
10万倍以下		 倍率　10万倍以下　１視野につき 19,470
K120440-03 TEM試料調製　FIB-マイクロプロービング法　低加速ガリウムイオン 低加速ガリウムイオン仕上げ　１試料につき 122,100
E161016-01 車載機器の放射・伝導妨害波測定　２時間まで ２時間まで　 40,810
K120413-03 分析透過電子顕微鏡観察（FE-TEM/EDS）[EM002BF]　
10万倍を超えて50万倍以下		 倍率　10万倍を超えて50万倍以下　
１視野につき		 25,850
K120416-01 分析透過電子顕微鏡観察（FE-TEM/EDS）[EM002BF]　
試料傾斜調整		 試料傾斜調整　１条件ごとに 13,420
観察条件および撮影枚数により費用は変わりますので、詳細は担当職員にお問い合わせください。
ご要望に応じて見積書を作成いたします。

ご利用方法

依頼試験（KISTEC事業名：試験計測）、委託受託（KISTEC事業名：技術開発受託）で利用できます。