2023年5月16日

LSIコンタクトホールの２方向観察事例

川﨑技術支援部
溝の口
  • 微細構造観察
  • 金属材料
  • #電子顕微鏡
  • #形状観察
  • #微細加工

LSIに異常が確認され、断面観察よりコンタクトホール直下約50nmの箇所に微小欠陥を捉えることができました。
また、同箇所の平面観察を行い、微小欠陥を定量化しました。

＜使用機器＞　分析透過電子顕微鏡（FE-TEM/EDS）
　　　　　　　集束イオンビーム装置（FIB）
　　　　　　　低エネルギーイオンミリング装置（Gentle Mill）

＜測定手順＞

・FIB-マイクロプロービング法による断面試料作製
　　　　　　　↓
・低エネルギーイオンミリングによる薄片化
　　　　　　　↓
・TEMによる断面観察（微小欠陥の位置を確認）
　　　　　　　↓
・FIBによる平面試料作製
　　　　　　　↓
・低エネルギーイオンミリングによる薄片化
　　　　　　　↓
・ TEMによる平面観察（確認）
　　　　　　　↓
・低エネルギーイオンミリングによる微小欠陥の抽出（複数回）
　　　　　　　↓
・ TEMによる平面観察

＜納　　期＞　担当職員にお問い合わせください。

測定例

断面TEM観察
断面TEM観察
平面TEM観察
平面TEM観察

ご利用を希望される方へ

このページのご紹介内容は、依頼試験でご利用いただけます。

観察条件および撮影枚数により費用は変わりますので、詳細は担当職員にお問い合わせください。
ご要望に応じて見積書を作成いたします。

    使用機器

    分析透過電子顕微鏡（FE-TEM/EDS）[EM002BF]
    分析透過電子顕微鏡（FE-TEM/STEM/EDS）[Talos F200X]
    イオンミリング装置（低エネルギー型）[Gentle Mill IV5]

    料金

    NO. 項目 単位 料金
    K1440 分析透過電子顕微鏡観察（FE-TEM/EDS）[EM002BF]　
    10万倍以下    		 倍率　10万倍以下　１視野につき 19,470
    K1625 TEM試料調製　　FIB-マイクロプロービング法　
    低加速ガリウムイオン    		 低加速ガリウムイオン仕上げ　
    １試料につき    		 122,100
    E1425 車載機器の放射・伝導妨害波測定　２時間まで ２時間まで　 40,810
    K1441 分析透過電子顕微鏡観察（FE-TEM/EDS）[EM002BF]　
    10万倍を超えて50万倍以下    		 倍率　10万倍を超えて50万倍以下　
    １視野につき    		 25,850
    K1460 分析透過電子顕微鏡観察（FE-TEM/EDS）[EM002BF]　
    試料傾斜調整    		 試料傾斜調整　１条件ごとに 13,420