2022年12月10日

FE-SEMによる磁気フィルム表面のSEM観察画像と面分析

川﨑技術支援部
溝の口
  • 外観観察
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EDS（エネルギー分散型X線分析装置）の面分析機能を使用するとどの成分が何処にあるのかが解ります。
＜使用機器＞　電界放出型走査電子顕微鏡　日本電子 JSM-7800F Prime
　　　　　　　エネルギー分散型X線分析装置　サーモフィッシャーサイエンティフィック　NORAN System 7

磁気フィルム表面のSEM画像　観察倍率50000倍
磁気フィルム表面のSEM画像 観察倍率50,000倍
EDSによる面分析（マッピング）結果
EDSによる面分析（マッピング）結果 赤：C、青：Pt、緑：Al、黄：Fe、ピンク：Si

磁気フィルム表面においてSEM観察とEDS面分析を行った結果です。
面分析は、どの成分が何処にあるのかが判るため付着物の解析や分布に偏りがある場合に有効です。
SEM/EDSは電子ビームをスキャンしながら分析データを取り込めるので、このように位置情報と合わせることが可能です。
この他、点分析や線分析、精度は若干低いですが定量分析も可能です。

使用機器

走査電子顕微鏡（電界放出型・FE-SEM/EDS）[JSM-7800F Prime]

ご利用方法

依頼試験（KISTEC事業名：試験計測）で利用できます。