2022年12月10日
FE-SEMによる磁気フィルム表面のSEM観察画像と面分析
EDS（エネルギー分散型X線分析装置）の面分析機能を使用するとどの成分が何処にあるのかが解ります。
＜使用機器＞ 電界放出型走査電子顕微鏡 日本電子 JSM-7800F Prime
エネルギー分散型X線分析装置 サーモフィッシャーサイエンティフィック NORAN System 7
観察倍率50,000倍
赤：C、青：Pt、緑：Al、黄：Fe、ピンク：Si
磁気フィルム表面においてSEM観察とEDS面分析を行った結果です。
面分析は、どの成分が何処にあるのかが判るため付着物の解析や分布に偏りがある場合に有効です。
SEM/EDSは電子ビームをスキャンしながら分析データを取り込めるので、このように位置情報と合わせることが可能です。
この他、点分析や線分析、精度は若干低いですが定量分析も可能です。