2022年12月10日

イオンミリングを活用した共晶ハンダの断面SEM観察

川﨑技術支援部
  • 微細構造観察
  • 金属材料
  • 電子材料
  • #電子顕微鏡
  • #形状観察

共晶ハンダの内部構造を調べるため、クライオイオンミリングにて作製した断面のSEM観察を行いました。

＜試料＞
Sn-Pb共晶ハンダ
＜使用機器＞
電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）
断面試料作製用イオンミリング装置

断面イオンミリングを行ったSn-Pb共晶はんだのSEM像 （サンプル冷却有無での仕上げの比較）
図1　断面イオンミリングを行ったSn-Pb共晶ハンダのSEM像
（サンプル冷却有無での仕上げの比較）

冷却なしではPbの界面が溶融化し、本来の解析が不可能となっています。