イオンミリングを活用した共晶ハンダの断面SEM観察

川﨑技術支援部
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共晶ハンダの内部構造を調べるため、クライオイオンミリングにて作製した断面のSEM観察を行いました。

<試料>
Sn-Pb共晶ハンダ
<使用機器>
電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)
断面試料作製用イオンミリング装置

断面イオンミリングを行ったSn-Pb共晶はんだのSEM像 (サンプル冷却有無での仕上げの比較)
図1 断面イオンミリングを行ったSn-Pb共晶ハンダのSEM像
(サンプル冷却有無での仕上げの比較)

冷却なしではPbの界面が溶融化し、本来の解析が不可能となっています。

使用機器

走査電子顕微鏡(電界放出型・FE-SEM/EDS)[JSM-7800F Prime]
イオンミリング装置 [Ilion+]

ご利用方法

依頼試験(KISTEC事業名:試験計測)で利用できます。