FIB-マイクロサンプリング法によるTEM試料作製事例

川崎技術支援部
溝の口
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透過電子顕微鏡(TEM)の観察は、観察対象とするサンプルを約100nm以下の厚さに加工しなければ電子が透過しないことから、観察、分析をすることができません。
集束イオンビーム装置(FIB)で観察対象を薄片化することにより、TEM試料を作製することができます。また、局所箇所をピンポイントで加工することも可能です。

<使用機器> 集束イオンビーム装置(FIB)
<納  期> 担当職員にお問い合わせください。

<マイクロサンプリング法 加工例>

マイクロサンプリング法 加工例1
マイクロサンプリング法 加工例2

使用機器

集束イオンビーム装置(FIB-SEM/EDS)[XVision 200TB]

ご利用方法

依頼試験(KISTEC事業名:試験計測)で利用できます。