FIB-マイクロサンプリング法によるTEM試料作製事例
透過電子顕微鏡(TEM)の観察は、観察対象とするサンプルを約100nm以下の厚さに加工しなければ電子が透過しないことから、観察、分析をすることができません。
集束イオンビーム装置(FIB)で観察対象を薄片化することにより、TEM試料を作製することができます。また、局所箇所をピンポイントで加工することも可能です。
<使用機器> 集束イオンビーム装置(FIB)
<納 期> 担当職員にお問い合わせください。
<マイクロサンプリング法 加工例>
使用機器
集束イオンビーム装置(FIB-SEM/EDS)[XVision 200TB]
ご利用方法
依頼試験(KISTEC事業名:試験計測)で利用できます。