2022年12月10日
FIB-SEMによる断面観察事例
FIBで加工した断面を、SEMで斜め上から観察します。
FIB-SEMによるコネクタ表面のめっきの断面観察
＜試料＞
市販のコネクタ端子
FIB加工は無応力のため、Auめっき内のボイドも潰さずに観察することができます。
金属、セラミックス、高分子材料において同様の観察を行うことができます。
FIB-SEMによる塗膜の断面観察および分析
＜試料＞
塗膜
「FIB加工→断面のSEM観察→断面のEDS分析」を行うことにより、内部構造の観察と元素分析を行うことができます。
