FE-SEMによる端子の断面観察

川﨑技術支援部
溝の口
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精密機械研磨、イオンミリング装置による前処理を施した端子断面をFE-SEMで観察することで内部の構造を鮮明に見ることができます。

<使用機器> 電界放出型走査電子顕微鏡 日本電子 JSM-7800F Prime

イオンによる研磨は試料に与えるダメージが少なく、金めっきのように軟らかい素材でも鮮明に観察することができます。

イオンミリング装置による前処理を施した端子断面
イオンミリング装置による前処理を施した端子断面