依頼試験REQUESTED TEST
製品や原材料の品質確認、トラブル(不具合)が発生した場合の原因究明などが必要になったときに、KISTECの職員が分析、測定などを行うサービスです。
お客様のお話を伺ったうえで、適切な方法をご提案します。試験実施後は、お申し込み時にご指定の方法で結果をお渡しします。
(依頼試験は、KISTECの試験計測事業でお受けします。)
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電子線リソグラフィ
電子線リソグラフィによる電子線レジスト樹脂への高精細パターン形成 【試験対象】 ウエハサイズ:...
電子技術部
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高精度フォトリソグラフィ
UV露光による感光性樹脂への高精度転写 両面パターンにも対応可 【試験対象】 ウエハサイズ:2...
電子技術部
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ECRプラズマエッチング
プラズマを用いるドライエッチング法の一つであり、この場合は、ECR (電子サイクロトロン共鳴) によ...
電子技術部
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アッシャーによるプラズマ処理
表面改質、有機物除去 【試験対象】 CF4プラズマ処理、酸素プラズマ処理例)レジスト残渣の除去...
電子技術部
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スパッタ成膜
薄膜の種物質(ターゲットという)にアルゴンイオンをぶつけて、その際にたたき出された種物質を基板に堆積...
電子技術部
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真空蒸着
真空雰囲気中で金属を加熱蒸発させて基板にその金属の薄膜を堆積させます。 【試験対象】 電子材料
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